激光微纳加工
应用案例
• 脆性材料加工
• 过滤器/ PCB 钻孔
• 薄膜加工
• 表面功能化
• 工具结构化
• 高深宽比,超快速标记
超短脉冲激光器是激光技术中的一种比较成熟的工具,用于对极高精度的组件进行微加工。激光以单个超短激光脉冲的形式发出,脉冲持续时间从飞秒 (10-15s) 到几皮秒 (10-12s)。 激光辐射聚焦在工件上时,由此产生的超高强度能量可以实现对材料的定向烧蚀。可用于材料的表面微结构化、微钻孔、精密切割和表面功能化等多个方面。
超短脉冲激光加工的优势:
• 任何材料都可加工
• 横向加工分辨率< 5μm
• 深度加工分辨率 <1μm
• 热影响区最小
• 可重复性高
• 无需后加工
轴承油封结构
增材制造件后处理
精密模具制造
印刷电路板制造
表面疏水结构制造
内部三维结构化
表面刻蚀
表面三维结构化
高精度激光切割
超快激光精密钻孔