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超快激光微纳加工系统

       系统配备超短脉冲激光、高精密高稳定运动机构、精准测量与监测系统及多种类型微纳加工光学系统,可通过光学系统的灵活配置,实现表面结构化、钻孔、切割、功能化等各种精密微纳加工。并根据客户需求提供定制化设备研制与定向工艺开发。

 

•  超短脉冲激光器

•  花岗岩运动机构提高稳定性

•  特殊光学模块实现柔性分束与光束整形

•  功能强大的软件操作系统

•  双显示器HMI终端

•  集成多种线上测量技术:三维形貌、视觉、距离、红外

•  手动操作/全自动工艺

•  IP摄像头远程监控

•  最高激光安全标准防护

花岗岩运动机构

操作软件

加工形貌检测

状态监测

RDX500 型超快激光加工系统

●外形尺寸:150cm×120cm×197cm

 

●系统最多配3个线性轴( XYZ)

 

●运动范围:X-300mm,Y-300mm,Z-300mm

 

●运动精度: <2μm

 

●零点装夹系统:气动/手动

 

●真空吸盘:标准300×400mm2,可扩展到500×500mm2,真空压力自适应调节

 

●可配静态分光系统 MBS-G4,柔性光束成形/分光系统 FBS-G3

RDX1000 型超快激光加工系统

●外形尺寸:215cm×155cm×240cm

 

●系统最多配4个线性轴 ( XYZZ),可扩展为5轴运动机构

 

●运动范围:X-800mm,Y-300mm, Z1-300mm, Z2-300mm

 

●运动精度: <2μm

 

●可扩展为8轴龙门式机构,2XXY + XYZC

 

●系统两侧可扩展增设机器人上下件机构或隔间

 

●零点装夹系统:气动/手动

 

●真空吸盘:标准300×400mm2,可扩展到500×500mm2,真空压力自适应调节

 

●可配静态分光系统 MBS-G4,柔性光束成形/分光系统 FBS-G3

MBS-G4 静态分束系统

         MBS-G4静态分束系统采用光束整形系统实现一束光的多束分光,实现零件批量化高效加工。

 

       ●适用固定光束模式

       ●最大激光功率:无限制

       ●光束直径:3-6mm

       ●波长:532nm, 1064nm

       ●分束器:  DOE免费设计

       ●重量:22kg(含扫描镜)

       ●场尺寸:5x5mm @ f100 mm,点位置误差<3 µm

       ●可分光束数量:2-200束

 

 

 

 

         FBS-G3型柔性光束整形系统,可以按需实现光束整形,形成自由设计的光束分布,为多样化激光微纳加工提供无限可能。

       ●最大激光功率:100W

       ●能量损耗率20-25%

       ●波长:1000nm -1100mn 红外激光

       ●配备光束稳定系统

       ●可通过软件预先定义光束特征,建立光学工具库

       ●可在1个脉冲内烧蚀出最终几何形状(光束整形)

       ●2ms-25ms内快速更换光学工具:从单束到多束、从未整型光束到整型光束(取决于光束复杂度)

FBS-G3 柔性光束整形系统

旋转制孔技术原理

 

       倍频ps激光,由于脉冲持续时间非常短,进入金属的热穿透区域保持非常小并且仅产生少量熔体。 Fraunhofer ILT开发的旋转制孔光学模块,其光学旋转速度可以变化至36,000rpm。 通过改变钻孔光学系统中的迎角和激光辐射的旋转直径,可以调节孔径和孔的锥度。

 

       通过光学组件与高精度旋转轴的集成,可实现多个异性棱镜组件的迭代式旋转,获得均衡稳定旋转的激光光束,从而实现厚度材料多角度打孔的工艺。

         

旋转制孔光学模块 V7

 

旋转制孔的光学模块分为三个部分:光束旋转器、相机组件、光学组件。新的相机模块可以与主模块分开使用,可通过配套系统软件进行控制。

 

•  特殊的异形棱镜,保持线性偏振光源的恒定偏振,因此激光光源提供的最大能量可以通过调整切向或径向偏振来使用

•  独一无二的轻便模块化设计,光头重量6kg,可轻松集成到大多数机床的Z 轴上

•  可进行远红外波长,绿光,到紫外线波长的涂层保护

•  高精度空心轴旋转发动机,无振动,保证流畅的运动性能

•  加工头的旋转单元提供过压灰尘防护

•  高达800mJ的脉冲激光能量

•  最大旋转速度可达36000rmp

•  纵深比可达1:50

•  加工孔锥度 1:5 到 5:1      

技术性能优势

 

•  COMOS相机与空心旋转轴电机高度集成

•  可快速切换的聚焦光学组件

•  可实现系统自动记录位置,和自适应加工状态调整

•  旋转几何形状精度1μm

         

叶片部件制孔

空调喷嘴制孔

离合器零部件激光制孔

旋转制孔光头

碳纤维异形孔

旋转制孔技术应用

 

        由于脉冲激光辐射的高强度,几乎所有材料,如:金属,陶瓷,半导体,碳纤维增强塑料,塑料和多层系统材料等等都可以使用其进行高精度钻孔。 应用包括:涡轮机械部件中冷却空气孔,用于燃料过滤器或喷嘴的孔,以及用于工具制造的注塑模具中的通气孔。

- 精密切割

•  蓝宝石,钢化玻璃的微裂纹精密切割

•  特殊形状制孔

-精密制孔

•  金属/非金属材料的精密制孔,板材厚度≤ 3mm

•  微型过滤器,喷射器起始孔,通风孔等

•  50 μm以下微孔的度微调

-精密销蚀

-精密结构制作

ACunity与Fraunhofer ILT、PULSAR Photonicis 联合研发